Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing- 9780470625958

: Este completo volumen ofrece una discusión en profundidad de los fundamentos de la limpieza y el acondicionamiento de superficies para aplicaciones de semiconductores, como la limpieza de puertas de metal/alto k, la limpieza de cobre/bajo k, la eliminación de implantes de alta dosis y la pasivación de silicio y SiGe. Se revisa la teoría y la física fundamental asociada con el grabado húmedo y la limpieza húmeda, además de los aspectos superficiales y coloidales del procesamiento húmedo. Se presentan las prácticas y la metodología de desarrollo de formulaciones junto con las aplicaciones para prevenir la corrosión del cobre, la limpieza de líneas de aluminio y otras capas sensibles. Esta es una referencia imprescindible para cualquier ingeniero o gerente asociado con el uso o el suministro de tecnologías de limpieza y libres de contaminación para la fabricación de semiconductores. EAN: 9780470625958 Tipo: Libros Categoría: Tecnología|Ciencias Título: Handbook for Cleaning for Semiconductor Manufacturing Autor: Karen A. Reinhardt| Richard F. Reidy Editorial: Wiley-Scrivener Idioma: en Páginas: 614 Formato: tapa dura